Ellipsometric analysis of silicon surfaces textured by ns and sub-ps KrF laser pulses

Ellipsometric analysis of silicon surfaces textured by ns and sub-ps KrF laser pulses

Elmentve itt :
Bibliográfiai részletek
Szerzők: Tóth Zsolt
Hanyecz István
Gárdián Anett
Budai Judit
Csontos János
Pápa Zsuzsanna
Füle Miklós Jenő
Dokumentumtípus: Cikk
Megjelent: 2014
Sorozat:THIN SOLID FILMS 571 No. 3
doi:10.1016/j.tsf.2013.10.102

mtmt:2537453
Online Access:http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9236
LEADER 00921nab a2200265 i 4500
001 publ9236
005 20191030144503.0
008 170518s2014 hu o 0|| zxx d
022 |a 0040-6090 
024 7 |a 10.1016/j.tsf.2013.10.102  |2 doi 
024 7 |a 2537453  |2 mtmt 
040 |a SZTE Publicatio Repozitórium  |b hun 
041 |a zxx 
100 1 |a Tóth Zsolt 
245 1 0 |a Ellipsometric analysis of silicon surfaces textured by ns and sub-ps KrF laser pulses  |h [elektronikus dokumentum] /  |c  Tóth Zsolt 
260 |c 2014 
300 |a 631-636 
490 0 |a THIN SOLID FILMS  |v 571 No. 3 
700 0 1 |a Hanyecz István  |e aut 
700 0 1 |a Gárdián Anett  |e aut 
700 0 1 |a Budai Judit  |e aut 
700 0 1 |a Csontos János  |e aut 
700 0 1 |a Pápa Zsuzsanna  |e aut 
700 0 1 |a Füle Miklós Jenő  |e aut 
856 4 0 |u http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9236/1/Ellipsometric%20analysis%20of%20textured%20Si_Toth.pdf  |z Dokumentum-elérés  

Hasonló tételek