Ellipsometric analysis of silicon surfaces textured by ns and sub-ps KrF laser pulses
Elmentve itt :
| Szerzők: | |
|---|---|
| Dokumentumtípus: | Cikk |
| Megjelent: |
2014
|
| Sorozat: | THIN SOLID FILMS
571 No. 3 |
| doi: | 10.1016/j.tsf.2013.10.102 |
| mtmt: | 2537453 |
| Online Access: | http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9236 |
| Terjedelem/Fizikai jellemzők: | 631-636 |
|---|---|
| ISSN: | 0040-6090 |