Laser induced backside wet etching of fused silica absorption coefficient dependence /
Elmentve itt :
Szerzők: | |
---|---|
Dokumentumtípus: | Cikk |
Megjelent: |
SPIE - The International Society for Optical Engineering
2003
|
Sorozat: | PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING
5131 |
doi: | 10.1117/12.513623 |
mtmt: | 1084034 |
Online Access: | http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9099 |
Terjedelem/Fizikai jellemzők: | 200-204 |
---|---|
ISSN: | 0277-786X |