Wet Etching of Fused Silica a Multiplex Study /

Elmentve itt :
Bibliográfiai részletek
Szerzők: Vass Csaba
Smausz Tomi
Hopp Béla
Dokumentumtípus: Cikk
Megjelent: Institute of Physics Publishing 2004
Sorozat:JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS 37 No. 17
doi:10.1088/0022-3727/37/17/018

mtmt:1083950
Online Access:http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9095
LEADER 00766nab a2200217 i 4500
001 publ9095
005 20191022111113.0
008 170512s2004 hu o 0|| zxx d
022 |a 0022-3727 
024 7 |a 10.1088/0022-3727/37/17/018  |2 doi 
024 7 |a 1083950  |2 mtmt 
040 |a SZTE Publicatio Repozitórium  |b hun 
041 |a zxx 
100 1 |a Vass Csaba 
245 1 0 |a Wet Etching of Fused Silica  |h [elektronikus dokumentum] :  |b a Multiplex Study /  |c  Vass Csaba 
260 |a Institute of Physics Publishing  |c 2004 
300 |a 2449-2454 
490 0 |a JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS  |v 37 No. 17 
700 0 1 |a Smausz Tomi  |e aut 
700 0 1 |a Hopp Béla  |e aut 
856 4 0 |u http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9095/1/2004_Vass_J.Phys.D_37_2449_2454_u.pdf  |z Dokumentum-elérés