Wet Etching of Fused Silica a Multiplex Study /

Elmentve itt :
Bibliográfiai részletek
Szerzők: Vass Csaba
Smausz Tomi
Hopp Béla
Dokumentumtípus: Cikk
Megjelent: Institute of Physics Publishing 2004
Sorozat:JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS 37 No. 17
doi:10.1088/0022-3727/37/17/018

mtmt:1083950
Online Access:http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9095
Leíró adatok
Terjedelem/Fizikai jellemzők:2449-2454
ISSN:0022-3727