Experiments And Numerical Calculations For The Interpretation of The Backside Wet Etching of Fused Silica

Experiments And Numerical Calculations For The Interpretation of The Backside Wet Etching of Fused Silica

Elmentve itt :
Bibliográfiai részletek
Szerzők: Vass Csaba
Hopp Béla
Smausz Tomi
Ignácz Ferenc
Dokumentumtípus: Cikk
Megjelent: 2004
Sorozat:THIN SOLID FILMS 453-454
doi:10.1016/j.tsf.2003.11.081

mtmt:1083945
Online Access:http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9094
LEADER 00810nab a2200229 i 4500
001 publ9094
005 20191016135513.0
008 170512s2004 hu o 0|| zxx d
022 |a 0040-6090 
024 7 |a 10.1016/j.tsf.2003.11.081  |2 doi 
024 7 |a 1083945  |2 mtmt 
040 |a SZTE Publicatio Repozitórium  |b hun 
041 |a zxx 
100 1 |a Vass Csaba 
245 1 0 |a Experiments And Numerical Calculations For The Interpretation of The Backside Wet Etching of Fused Silica  |h [elektronikus dokumentum] /  |c  Vass Csaba 
260 |c 2004 
300 |a 121-126 
490 0 |a THIN SOLID FILMS  |v 453-454 
700 0 1 |a Hopp Béla  |e aut 
700 0 1 |a Smausz Tomi  |e aut 
700 0 1 |a Ignácz Ferenc  |e aut 
856 4 0 |u http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9094/1/2004_Vass_Thin_Solid_Films_121_126_453454_u.pdf  |z Dokumentum-elérés  

Hasonló tételek