Experiments And Numerical Calculations For The Interpretation of The Backside Wet Etching of Fused Silica
Elmentve itt :
Szerzők: | |
---|---|
Dokumentumtípus: | Cikk |
Megjelent: |
2004
|
Sorozat: | THIN SOLID FILMS
453-454 |
doi: | 10.1016/j.tsf.2003.11.081 |
mtmt: | 1083945 |
Online Access: | http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9094 |
Terjedelem/Fizikai jellemzők: | 121-126 |
---|---|
ISSN: | 0040-6090 |