Experiments And Numerical Calculations For The Interpretation of The Backside Wet Etching of Fused Silica

Elmentve itt :
Bibliográfiai részletek
Szerzők: Vass Csaba
Hopp Béla
Smausz Tomi
Ignácz Ferenc
Dokumentumtípus: Cikk
Megjelent: 2004
Sorozat:THIN SOLID FILMS 453-454
doi:10.1016/j.tsf.2003.11.081

mtmt:1083945
Online Access:http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9094
Leíró adatok
Terjedelem/Fizikai jellemzők:121-126
ISSN:0040-6090