Active stabilization of the beam pointing of a high- power KrF laser system
Elmentve itt :
| Szerzők: | |
|---|---|
| Dokumentumtípus: | Cikk |
| Megjelent: |
2015
|
| Sorozat: | METROLOGY AND MEASUREMENT SYSTEMS
22 No. 1 |
| doi: | 10.1515/mms-2015-0014 |
| mtmt: | 2865521 |
| Online Access: | http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/15439 |
| Terjedelem/Fizikai jellemzők: | 165-172 |
|---|---|
| ISSN: | 0860-8229 |