Lézerrel kezelt szilícium felületek, valamint impulzuslézeres rétegépítéssel előállított amorf szilícium és SixC vékonyrétegek ellipszometriai vizsgálata
Elmentve itt :
| Szerző: | |
|---|---|
| További közreműködők: | |
| Dokumentumtípus: | Disszertáció |
| Megjelent: |
2015-05-07
|
| Tárgyszavak: | |
| doi: | 10.14232/phd.2267 |
| mtmt: | 2994696 |
| Online Access: | http://doktori.ek.szte.hu/2267 |
| További adatokért lásd a Minden adat megjelenítése... fület |